Prekurzory pro MOCVD
Mezi nejpoužívanější prekurzory patří sloučeniny s alkylovými zbytky. Jsou to nepolární, těkavé kapaliny. Dekompozice látek s methylovými substituenty začíná přibližně při 200 °C, v případě ethylového zbytku se teplota snižuje na 110 °C.
Obr 1. Trimethyalan
Často se také využívají alicyklické sloučeniny. Např. cyklopentadienyl magnesium.
Obr 2. Bis(η5–cyclopentadienyl)kobalt
Další důležitou skupinou prekurzorů jsou acetylacetonáty. Tyto látky jsou odvozeny od 2,4-pentadionu. Mezi jejich největší výhody patří stálost na vzduch a také snadná příprava.
Obr 3. Acetylaceton a acetylacetonát měďnatý
Máte dotaz nebo podnět k článku? Napište mi
FORMÁT PRO TISK
Poslední změna:
13.05. 2006 00:56