Foto CVD
Tato metoda využívá k iniciaci chemické reakce energii fotonů. Především v oblasti UV záření, které má dostatek energie pro přerušení chemických vazeb v molekule reaktantu. V mnoha případech mají tyto molekuly široké adsorpční pásy a mohou být přímo excitovány pomocí UV záření. Jako zdroj záření lze použít UV lampy, ale výhodnější jsou UV lasery, které dokáží dodat do systému více energie.
Výhdou této metody je skutečnost, že nevyžaduje ohřev systému. Depozice může probíhat i za laboratorní teploty. Nevýhodou je velmi malá rychlost depozice, která značně znesnadňuje praktické využití metody. Experimentálně byly provedeny depozice např. SiO2, Si3N4, Al, W, oxidů kovů, atd.
Poslední změna:
18.07. 2006 21:55